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电子显微镜

台式显微镜 TM4000II/TM4000PlusII

产品说明: TM4000 系列采用*新和尖*技术,重新定义了桌面显微镜的功能。 这款新*代久负荷的日立桌面显微镜 (TM) 集成了易用性、优化成像和高图像质量,同时保持了久负荷的 Hitachi...

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产品详情

TM4000 系列采用*新和尖*技术,重新定义了桌面显微镜的功能。 这款新*代久负荷的日立桌面显微镜 (TM) 集成了易用性、优化成像和高图像质量,同时保持了久负荷的 Hitachi TM 系列产品的紧凑设计。 使用日立 TM4000 和 TM4000Plus,体验桌面显微镜的新尺寸。在短短几分钟内插入数据采集和报告生成示例!
 
TM4000 系列为 SEM 用户提供了一种解决方案,可以轻松获得高质量的数据并快速生成报告,从而实现*效的工作流程。环b、*效的真空系统可缩短泵送时间和高样品处理量。可容纳直径可达 80 mm、厚度可达 50 mm 的样品尺寸。
观察图像3分钟。可迅速获得所需数据,并制作报告。

 
观察与分析的灵活性
自动获取各类数据。快速切换!

 
可快速获得元素分布图*2
 

*1TM4000PlusⅡ的功能。*2选配
使用Camera Navi*的话,就是如此简单
Camera Navi图像让您轻松找到视野,分布图(MAP)功能全程支持您的观察

*选配:Camera Navi系统
操作简单且快捷
观察图像只需 3 分钟。
可快速观察图像,并导出测试报告。

Report Creator可让您轻松制作报告
只需选择图像和模板,就可以制作Microsoft Word、Excel、PowerPoint格式的报告

即便是jue缘物样品,也无需预处理,就可直接进行观察
“静电减轻模式”可抑制静电现象
对于容易产生静电的样品,可使用“静电减轻模式”,在抑制静电的状态下进行观察。
只需用鼠标在软件上点击即可切换到“静电减轻模式”。

可在低真空的条件下进行多种观察
对于容易产生静电的粉末或含水等样品,可结合其目的进行观察。

可在低真空的条件下进行二次电子像(表面形状)观察。
无需预处理,也可以观察jue缘物和含水、含油样品的表面
不仅是观察传统的导电性样品,还可以在无预处理的条件下观察jue缘物和含水、含油样品。可快速进行二次电子像与背散射电子像之间的切换。
高感度低真空二次电子检测器
采用高感度低真空二次电子检测器(UVD)。通过检测由于电子线与残留气体分子之间的碰撞而产生的光,可以观察带有二次电子信息的图像。
此外,通过控制该检测器,来检测电子照射所产生的光,可以获得CL信息(UVD-CL:带有CL信息的图像)。

 

 
高感度低真空二次电子检测器的检测原理

可支持加速电压20 kV

TM4000Ⅱ/TM4000Plus II可支持加速电压20 kV。
凭借EDS分析(选配),可进行更高计数率解析。
通过加速电压20 kV,实现EDS元素分布图的高S/N化
 

 
Multi Zigzag(选配)
可实现在广域范围内进行SEM观察。
搭配自动马达台,可实现低倍率,高精度,大范围的观察分析。


 
EM 样品台(选配)
可轻松观察 STEM 图像
与全*开发的 STEM 样品台和高灵敏度低真空二次电子检测器(UVD)配合使用,可轻松观察小倍率 STEM 图像。
可轻松观察薄膜样品和生物样品。



技术参数
项目 TM4000PlusII TM4000II
倍率 ×10~×100,000(照片倍率)
×25~×250,000(显示器倍率)
加速电压 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
图像信号 背散射电子
二次电子
复合图像(背散射电子+二次电子)
背散射电子
真空模式 导电体(仅背散射电子)
标准
静电减轻
标准
静电减轻
样品可移动范围 X:40 mm Y:35 mm
*大样品尺寸: 80 mm(直径) 50 mm(厚度)
电子枪 集中灯箱(Pre-Centered Catridge Filament)
检测器 背散射电子:高感度4分割 背散电子检测器
二次电子:高感度低真空 二次电子检测器
背散射电子:高感度4分割 背散射电子检测器
排气系统
(真空泵)
涡轮分子泵:67 L/s 1台
隔膜泵:20 L/min
尺寸与重量 主体:330(宽度)×614(进深)×547(高度) mm、54 kg(附带马达驱动的样品台)
主体:330(宽度)×617(进深)×547(高度) mm、54 kg(附带手动样品台)
隔膜泵:144(宽度)×270(进深)×216(高度) mm
 
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