今天，上海维翰光电科技有限公司小编就跟大家介绍一下电子扫描显微镜的原理，以下就是具体内容。
扫描电子显微镜（英文简称SEM）又被叫做电子扫描显微镜，在透射光学显微镜和电子显微镜之间的一种观察手段。它的原理：主要是利用聚焦的很窄的高能电子束扫描样品,然后光束和物质间发生相互作用,从而激发非常多种类的物理信息,之后对信息进行再次收集、放大以及再成像，从而就能达到对物质微观形貌表征的目的。并且由于现在科技的发展，新式的电子扫描显微镜的分辨率能够到达1nm，放大倍数也能够达到30万倍及以上，并且还是连续可调。它的优点还有景深大、视野大、成像立体非常好。除此之外，扫描电子显微镜也能够和其他分析仪器相结合,做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上应用的非常广泛。所以扫描电子显微镜在科学研究领域的作用非常大。
电子扫描显微镜电子枪发射出的电子束经过聚焦后汇聚成点光源，然后在加速电压下形成高能电子束，高能电子束经过两个电磁透镜被聚焦成直径微小的光点,在透过最后一级带有扫描线圈的电磁透镜后,电子束用着光栅状扫描的方式逐点轰击到样品表面,与此同时也能激发出不同深度的电子信号。由入射电子轰击样品表面激发出来的电子信号有:俄歇电子（Au E）、X射线（特征X射线、连续X射线）、二次电子（SE）、阴极荧光（CL）、背散射电子（BSE）、吸收电子（AE）和透射电子。各种电子信号的用途都会由于他们之间的作用深度而不一样。
以上就是上海维翰光电科技有限公司小编的分享，希望对大家有所帮助。
